近日,晶盛机电自主研发制造的12英寸半导体级单晶炉顺利交付全球知名硅片制造商——芬兰Okmetic。
Okmetic作为业界领先的硅片制造商,专注于为MEMS、传感器、射频滤波器和功率器件领域提供高附加值定制化硅片解决方案,客户覆盖全球领先半导体企业。
据介绍,本次交付的12英寸半导体级单晶炉是晶盛机电在晶体生长领域的核心技术成果之一,具备高精度、高稳定性、高自动化等自研技术。设备严格遵循半导体级工艺标准设计制造,并提供更灵活、更简洁以及更隐私的二次开发平台,配合客户实现自主和保密的工艺过程开发及设定,充分满足客户对高品质、低缺陷密度单晶大硅片的严苛生产要求。
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