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多氟多:现有半导体级氢氟酸产能4万吨/年

来源:界面新闻       

多氟多11月29日在互动平台表示,公司现有半导体级氢氟酸产能4万吨/年,根据市场需求释放产能。公司六氟磷酸锂产线目前满负荷运行,市场需求旺盛,明年预计继续保持上升趋势,在需求层面,市场对六氟磷酸锂的需求具有较高的确定性。公司电子级氢氟酸、电子级硅烷等电子化学品以及硼同位素相关产品,可满足高端半导体应用场景需求。

资料显示,半导体级氢氟酸是高纯度氟化氢(HF)水溶液,是半导体制造中核心的湿电子化学品之一。氢氟酸的独特性在于对硅及硅氧化物(SiO?)的选择性腐蚀能力—— 能快速溶解 SiO?,但对单质硅的腐蚀速率极低,这一特性使其成为半导体制造中不可或缺的关键材料。主要应用于晶圆清洗、光刻胶剥离、蚀刻工艺、硅片制备、先进封装等核心环节。